报告简述
1、技术前景
静电吸盘是半导体制造业等离子腔室中最核心的部件,作用除了吸附晶圆片外,同时要实现多带温度控制(multi-zone)和直流偏压(DC Bias)控制,目前在电子工业界得到广泛应用。其中,库伦和掺杂导体材料的 J-R 型静电吸盘都是未来发展的趋势。
2、市场规模
2019 年,全球地区静电吸盘(ESC)市场规模为 34.13 亿元,预计在 2021 年至 2026 年间以 CAGR=5.4%的速度增长。中国静电吸盘(ESC)行业市场规模超 6亿元。中国拥有全球最大且增速最快的半导体消费市场,但国产设备及静电吸盘(ESC)等核心部件的国产化率仍较低,具有较强的替代需求,未来市场空间还很大。
3、竞争格局
全球静电吸盘市场具有高度垄断性,由日本和美国企业主导,美国企业主要有美国 AMAT(应用材料)、美国 LAM(泛林集团),日本企业主要有 Shinko(44%)、TOTO(17%)、Creative Technology(9%)等。国际巨头长期控制着全球静电吸盘产品的供应链,市场集中度较高。中国静电吸盘行业发展时间较短,目前正处于起步阶段,市场竞争力较弱,均暂未获得国内主流 fab 认证,主要厂商有华卓精科、海拓创新、君原电子和吸力奇迹。
目录概述
一、 要点概括
二、静电吸盘介绍
(一) 静电吸盘工作原理
(二)静电吸盘种类
(三)静电吸盘制造工艺
(四)应用领域
三、市场情况
(一)全球市场情况
(二)中国市场情况
四、竞争格局
五、重点企业分析