报告简述

1、技术前景

静电吸盘是半导体制造业等离子腔室中最核心的部件，作用除了吸附晶圆片外，同时要实现多带温度控制（multi-zone）和直流偏压（DC Bias）控制，目前在电子工业界得到广泛应用。其中，库伦和掺杂导体材料的 J-R 型静电吸盘都是未来发展的趋势。

2、市场规模

2019 年，全球地区静电吸盘（ESC）市场规模为 34.13 亿元，预计在 2021 年至 2026 年间以 CAGR=5.4%的速度增长。中国静电吸盘（ESC）行业市场规模超 6亿元。中国拥有全球最大且增速最快的半导体消费市场，但国产设备及静电吸盘（ESC）等核心部件的国产化率仍较低，具有较强的替代需求，未来市场空间还很大。

3、竞争格局

全球静电吸盘市场具有高度垄断性，由日本和美国企业主导，美国企业主要有美国 AMAT（应用材料）、美国 LAM（泛林集团），日本企业主要有 Shinko（44%）、TOTO（17%）、Creative Technology（9%）等。国际巨头长期控制着全球静电吸盘产品的供应链，市场集中度较高。中国静电吸盘行业发展时间较短，目前正处于起步阶段，市场竞争力较弱，均暂未获得国内主流 fab 认证，主要厂商有华卓精科、海拓创新、君原电子和吸力奇迹。

目录概述

一、 要点概括

二、静电吸盘介绍

  (一)   静电吸盘工作原理 

（二）静电吸盘种类 

（三）静电吸盘制造工艺 

（四）应用领域

三、市场情况

（一）全球市场情况 

（二）中国市场情况 

四、竞争格局 

五、重点企业分析